DIN 50441-5-1998 半导体工艺用材料的检验.半导体圆片几何尺寸的测量.第5部分:形状及平面偏差的术语

作者:标准资料网时间:2024-04-28 08:24:22 浏览:8024 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofthegeometricdimensionsofsemiconductorwafers-Part5:Termsofshapeandflatnessdeviation
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.半导体圆片几何尺寸的测量.第5部分:形状及平面偏差的术语
【标准号】:DIN50441-5-1998
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1998-05
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:定义;试验;测量;材料;平整度;组件;半导体片;半导体;偏差;电子工程;测量技术;半导体器件;尺寸
【英文主题词】:semiconductordevices;components;flatness(surface);testing;deviations;semiconductorslices;measuringtechniques;dimensions;measurement;semiconductors;definition;materials;electronicengineering
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045;01_040_29
【页数】:10P;A4
【正文语种】:德语

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